Structural evolution of sputtered indium oxide thin films

Einordnung

Erschienen in:

Journal of electrical engineering
Bd. 61, H. 6 (11.2010), S. 382-385

Band:

61

Heft:

6

Datum der Erstellung:

31.05.2023

Datum der Veröffentlichung:

11.2010

DOI:

10.2478/v10187-010-0059-7

PPN:

671768557

Sprache:

Englisch

Ressourcentyp:

Text

Umfang:

4 Seiten

DDC-Sachgruppe der DNB:

620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Einrichtung:

Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik