Weitere Entwicklungen zum 2 Photonen direkten Laserschreiben zur großflächigen Nanostrukturierung

Hacker, Annika-Verena; Manske, Eberhard

Veröffentlicht

Weitere Entwicklungen zum 2 Photonen direkten Laserschreiben zur großflächigen Nanostrukturierung

Um hochpräzise und großflächige Mikro- und Nanofabrikation zu realisieren, wurde ein Aufbau zum 2 Photonen direkten Laserschreiben entwickelt. Nun sollen der Aufbau zu einem vollständigen Laserschreibsystem ausgebaut und weitere Entwicklungen vorgestellt werden.

Vorschau

Einordnung

Konferenz:: Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGAO-Jahrestagung) ; 123 (Pforzheim) : 2022.06.07-11
Erschienen in:: DGaO-Proceedings
Bd. 123 (13.10.2022)Art.-Nr.:B33, 2 Seiten
Band:: 123
Datum der Erstellung:: 15.03.2023
Datum der Veröffentlichung:: 13.10.2022
URN:: urn:nbn:de:0287-2022-B033-6
Sprache:: Deutsch
Ressourcentyp:: Text
DDC-Sachgruppe der DNB:: 530 Physik
Einrichtung:: Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau

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