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Measurement uncertainty consideration in the case of nonlinear models for precision length measurement

GND
132799448
ORCID
0000-0002-1672-2978
Zugehörigkeit
University-Prof. Dr.-Ing. habil. Eberhard Manske, Technische Universität Ilmenau, Germany
Manske, Eberhard;
GND
120775603
ORCID
0000-0002-6060-7248
Zugehörigkeit
Technische Universitat Ilmenau, Faculty of Mechanical Engineering, PO Box 100 565, 98684 Ilmenau, Germany
Fröhlich, Thomas;
Zugehörigkeit
Technische Universitat Ilmenau, Faculty of Mechanical Engineering, PO Box 100 565, 98684 Ilmenau, Germany
Füßl, Roland

The requirements on the precision lengths and precision load measurement rise due to the rapid technical development, in particular of nanotechnologies and precision optics. According to the roadmap "Dimensional metrology for micro- and nanotechnology" of the European National Metrology Institutes (iMERA) 2 in the next few years "traceable 2D (3D) metrology at (sub)-nm accuracy over several 100 mm range" will be required.

Vorschau

Einordnung

Konferenz:
Joint IMEKO TC1-TC7-TC13 Symposium: Measurement Science Behind Safety and Security ; (Madeira) : 2014.09.03-05
Erschienen in:
Journal of physics : Conference Series
Bd. 588, H. 1 (16.02.2015)Art.-Nr.:012033
Band:
588
Heft:
1
Datum der Erstellung:
15.02.2024
Datum der Veröffentlichung:
16.02.2015
URN:
urn:nbn:de:gbv:27-dbt-20220706-153151-009
DOI:
10.1088/1742-6596/588/1/012033
PPN:
821046101
Sprache:
Englisch
Ressourcentyp:
Text
Umfang:
6 Seiten
DDC-Sachgruppe der DNB:
530 Physik
Einrichtung:
Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau

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