Single Femtosecond Laser-Pulse-Induced Superficial Amorphization and Re-Crystallization of Silicon

ORCID
0000-0001-5632-0562
Zugehörigkeit
Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM), Unter den Eichen 87, D-12205 Berlin, Germany, camilo.florian@princeton.edu
Florian, Camilo;
Zugehörigkeit
Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM), Unter den Eichen 87, D-12205 Berlin, Germany, daniel.fischer@rfischergmbh.de
Fischer, Daniel;
GND
1311072837
Zugehörigkeit
Otto-Schott-Institut für Materialforschung (OSIM), Lehrstuhl für Metallische Werkstoffe, Friedrich-Schiller-Universität Jena, D-07743 Jena, Germany, katharina.freiberg@uni-jena.de
Freiberg, Katharina;
Zugehörigkeit
Accurion GmbH, Stresemannstraße 30, D-37079 Göttingen, Germany, mdu@accurion.com
Duwe, Matthias;
Zugehörigkeit
Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM), Unter den Eichen 87, D-12205 Berlin, Germany, mario.sahre@bam.de
Sahre, Mario;
Zugehörigkeit
Accurion GmbH, Stresemannstraße 30, D-37079 Göttingen, Germany, st@accurion.com
Schneider, Stefan;
ORCID
0000-0002-1380-0109
Zugehörigkeit
Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM), Unter den Eichen 87, D-12205 Berlin, Germany, andreas.hertwig@bam.de
Hertwig, Andreas;
ORCID
0000-0003-2632-9448
Zugehörigkeit
Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM), Unter den Eichen 87, D-12205 Berlin, Germany, joerg.krueger@bam.de
Krüger, Jörg;
GND
1191795233
Zugehörigkeit
Otto-Schott-Institut für Materialforschung (OSIM), Lehrstuhl für Metallische Werkstoffe, Friedrich-Schiller-Universität Jena, D-07743 Jena, Germany, m.rettenmayr@uni-jena.de
Rettenmayr, Markus;
Zugehörigkeit
Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM), Unter den Eichen 87, D-12205 Berlin, Germany, uwe.beck@bam.de
Beck, Uwe;
Zugehörigkeit
Institut für Werkstoffwissenschaft und Werkstofftechnik (IWW), Technische Universität Chemnitz, Erfenschlager Straße 73, D-09125 Chemnitz, Germany, andreas.undisz@mb.tu-chemnitz.de
Undisz, Andreas;
ORCID
0000-0003-4984-3896
Zugehörigkeit
Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM), Unter den Eichen 87, D-12205 Berlin, Germany, joern.bonse@bam.de
Bonse, Jörn

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