Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung zumindest teilweise reflektierender Oberflächen

Die vorliegende Vorrichtung betrifft ein Verfahren zur optischen Formerfassung glänzender, glatter Freiformoberflächen, mit denen auch Freiformoptiken mit großen Neigungen absolut vermessen und deren Oberfläche rekonstruiert werden können. Das Verfahren baut auf dem Prinzip der Rasterreflektometrie auf, bei dem von der zu untersuchenden, zumindest teilweise spiegelnden Oberfläche ein Abtaststrahl (Lichtmuster) reflektiert und mit Hilfe eines Schirms im Raum zurück propagiert wird. Der Kreuzungspunkt dieses zurück propagierten Strahls mit dem abgetasteten Strahl entspricht einem Punkt auf der Oberfläche des Messobjektes. Diese Punkte werden im Raum mit den 3 Koordinaten x,y und z definiert.

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