Parallelisierte chromatisch-konfokale Mikroskopie mit einem Mehrkanalspektrometer

Die konfokale Mikroskopie ist ein weit verbreitetes Verfahren der industriellen Messtechnik. Wir präsentieren ein chromatisch-konfokales Messsystem, das sich eines Farblängsfehlers zur parallelen Erfassung der Tiefeninformationen an mehreren lateralen Messpunkten bedient. Die Auswertung der Messdaten erfolgt mit einem Mehrkanalspektrometer.

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