Micro and nano dimensional metrology on the basis of nano measuring machine

Einordnung

Konferenz:

Internationales Wissenschaftliches Kolloquium (IWK). Technische Universität Ilmenau ; 50 (Ilmenau) : 2005.09.19-23

Verlag, Verleger(in):

GND

16003365-2

ilmedia

Erschienen in:

Maschinenbau von Makro bis Nano : 50. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, September, 19 - 23, 2005 ; proceedings
Bd. 50, 2005 (21.10.2010), [01.02]

Band:

50, 2005

Datum der Erstellung:

21.10.2010

Datum der Veröffentlichung:

21.10.2010

PPN:

820562807

Sprache:

Deutsch

Ressourcentyp:

Text

Umfang:

8 Seiten

Erscheinungsort:

Ilmenau

Klassifikation:

Klasse A

Klassifikation:

für Harvesting bereitgestellt

DDC-Sachgruppe der DNB:

620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Klassifikation:

50. IWK (2005)

Einrichtung:

Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau