Measuring large areas by white light interferometry at the nanopositioning and nanomeasuring machine (NPMM)

Einordnung

Konferenz:

Internationales Wissenschaftliches Kolloquium. Technische Universität Ilmenau, Faculty of Computer Science and Automation ; 52 (Ilmenau) : 2007.09.10-13

Verlag, Verleger(in):

GND

16003365-2

ilmedia

Erschienen in:

Computer science meets automation : 52. IWK, Internationales Wissenschaftliches Kolloquium ; proceedings ; 10 - 13 September…
Bd. 52, 2007, Vol. 2 (11.09.2007), S. 257-262

Original:

Band:

52, 2007, Vol. 2

Datum der Erstellung:

11.09.2007

Datum der Veröffentlichung:

11.09.2007

PPN:

546142680

Sprache:

Englisch

Ressourcentyp:

Text

Umfang:

20 Seiten

Erscheinungsort:

Ilmenau

Klassifikation:

Klasse A

Klassifikation:

für Harvesting bereitgestellt

Klassifikation:

52. IWK (2007)

DDC-Sachgruppe der DNB:

004 Informatik

Einrichtung:

Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Informatik und Automatisierung